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RLS系列射頻發生器

  • 采用全數字控制,具有便捷和豐富的操作菜單
  • 進線具有APFC模塊,提高輸入側功率因數,降低諧波
  • 具備CEX相位同步功能
  • 3個可編程模擬量輸出

RLS系列射頻發生器

適用領域

光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。

適用工藝

等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等。

產品特點:

l  機架式安裝方式

l  采用全數字控制,具有便捷和豐富的操作菜單

l  進線具有APFC模塊,提高輸入側功率因數,降低諧波

l  穩定可靠的功放和直流控制模塊

l  駐波1.5時仍能輸出額定功率

l  具有多種通訊接口可選,通過通訊接口,可完全對電源進行操作

l  高亮LCD顯示,操作直觀

l  具備CEX相位同步功能

l  3個可編程模擬量輸出

l完善保護功能

      


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